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產品型號:Huace-800G
廠商性質:生產廠家
所在地:北京市
更新日期:2026-04-02
產品簡介:
| 品牌 | 華測 |
|---|
華測儀器Huace-800G半導體真空晶圓退火爐
價格僅供參考,如需獲取更詳盡的產品技術規格書、定制方案或應用案例,歡迎致電我司技術工程師
Huace-800G半導體真空晶圓退火爐由華測儀器生產,是在真空環境下,對半導體晶圓進行高溫熱處理的設備,主要用于消除應力、優化材料結構、增加電學性能。華測儀器經過多年研發,推出了采用高準度、高反射率拋物面搭配高性能加熱源的解決方案,在升降溫過程中仍能保持穩定均勻的溫度場,可實現寬范圍均熱區、高速加熱與高速降溫。樣品由石英管保護,無氣氛污染,更適合半導體工藝使用。
產品參數
產品型號:Huace-800G/Huace-1200G/Huace-1450G
產品尺寸:6寸晶圓或150 x 150mm產品
溫度范圍:RT ~ 800/1200/1450°C
升溫速度:<100℃/s可編程(此溫度不含載盤的升溫速度)
<25℃/s(SiC載盤)
溫度均勻度:±5 °C ≤ 500 ℃
±1 % > 500 ℃
溫度控制重復性:±1 °C
溫控方式:PID 溫控
應用領域
電子材料
半導體用硅化合化的PRA(加熱后急速降溫);
陶瓷與無機材料
陶瓷基板退火爐;
鋼鐵和金屬材料
爐焊接模擬;
其他
溫度梯度爐;

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