服務熱線
010-86460119
全國統一服務熱線：
13911821020
基礎信息Product information
產品名稱：
晶圓測試高低溫真空探針臺
產品型號：HCVP系列
廠商性質：生產廠家
所在地：北京市
更新日期：2026-02-13
產品簡介：
華測儀器HCVP系列晶圓測試高低溫真空探針臺通過高真空環境、電學測量和多功能集成設計為芯片、晶圓、傳感器等微納器件的性能測試提供了穩定的解決方案。
產品特性Product characteristics
| 品牌 | 華測 |
|---|
華測儀器HCVP系列晶圓測試高低溫真空探針臺
價格僅供參考，如需獲取更詳盡的產品技術規格書、定制方案或應用案例，歡迎致電我司技術工程師
HCVP系列晶圓測試高低溫真空探針臺由華測儀器生產，是一種輔助執行機構，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置，接下來通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，準確扎到被測點，從而使其訊,號線與外部測試機導通，通過測試機可以得到所需要的電性能參數。
產品參數
腔體
樣品臺尺寸：2英寸 / 4英寸 / 6英寸
樣品固定：彈簧壓片
觀察窗口：2英寸 / 4英寸 / 6英寸
真空度：10-6torr
探針臂接口：至多6個探針臂接口
其它接口：信號接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式：液氮/液氦 / 制冷機
控制方式：開循環手動 / 閉循環自動控制
溫度范圍：77K ~ 450K / 4.5K~450K
溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
穩定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
顯微鏡
X-Y-Z 移動行程：50mm×25mm×13mm
結構：外置探針臂，真空波紋管結構
移動精度：10μm / 1μm
光源：外置LED環形光源 / 同軸光源
CCD：200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素
上一篇：Huace表面電位衰減測試系統
下一篇：沒有了
京公網安備11011302007502號